VI Международный семинар «Микроволновые разряды: основные положения и применение»

11–16 сентября 2006 года, Московская обл., Звенигород, дом отдыха РАН.

Тематика:

• метод генерирования микроволновой плазмы;
• микроволновые разряды высокого и низкого давления;
• непрерывные волны и импульсные микроволновые разряды;
• взаимодействие микроволн с плазмой;
• моделирование разрядов и диагностика;
• применение микроволновой плазмы (обработка поверхностей, травление, осаждение пленки, рост структур, экология, улучшение производственного процесса, источники света, аналитическая химия и т.д.)

Окончание предварительной регистрации: 30 октября 2005 года.
Крайний срок представления тезисов докладов (md-6@ips.ac.ru): 15 февраля 2006 года;
Окончательная регистрация и оплата оргвзноса: до 15 марта 2006 года.

Контакты:
E-mail: lebedev@ips.ac.ru;
E-mail: shakhatov@ips.ac.ru.

Подробнее о семинаре